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案例應(yīng)用產(chǎn)品
OA-ICOS 工業(yè)用痕量氣體分析儀能以最高的靈敏度、準(zhǔn)確度、精度和響應(yīng)速度，滿足客戶最苛刻的要求：
? 對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠的工藝流程和為了人身健康與安全而進(jìn)行氣載分子污染物（AMC）監(jiān)測(cè)
? 前開式晶圓傳送盒（FOUP）和氣相沉積室監(jiān)測(cè)
OA-ICOS AMC 監(jiān)測(cè)分析儀能以極高的精度和靈敏度，對(duì)環(huán)境空氣或惰性工業(yè)氣流中的氟化氫、氯化氫、氨和水蒸氣進(jìn)行高度靈敏地測(cè)量。該系列分析儀適用于進(jìn)行半導(dǎo)體應(yīng)用中的氣載污染物監(jiān)測(cè)、FOUP 監(jiān)測(cè)和各種惰性氣體背景下的測(cè)量，能以最佳的整體性能報(bào)告寬濃度范圍內(nèi)的測(cè)量結(jié)果。
該 OA-ICOS 痕量氣體分析儀采用我們已獲專利的離軸 ICOS 技術(shù)，也是第四代光腔增強(qiáng)吸收技術(shù)。該離軸ICOS 技術(shù)相比傳統(tǒng)的光腔衰蕩光譜（CRDS）技術(shù)具有許多優(yōu)勢(shì)，包括性能更加穩(wěn)健和可靠，測(cè)量時(shí)間更短，光腔和鏡片可現(xiàn)場(chǎng)維修等。
所有 ABB 儀器都配有內(nèi)部計(jì)算機(jī)（Linux OS），能將每次分析的結(jié)果和被測(cè)氣體的完整光譜都保存到內(nèi)部硬盤上以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期無(wú)人值守的運(yùn)行。數(shù)據(jù)可以通過(guò)模擬、數(shù)字（RS232）和 Modbus 輸出連續(xù)地導(dǎo)出。而且，儀器可以通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。通過(guò)遠(yuǎn)程訪問，用戶可在無(wú)需到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)的情況下，控制儀器，獲取數(shù)據(jù)，以及診斷故障。這些 OA-ICOS 分析儀操作簡(jiǎn)單，啟動(dòng)迅速（只需幾分鐘），無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定，且預(yù)防維護(hù)需求極少。和所有ABB 分析儀一樣，OA-ICOS 工業(yè)痕量氣體分析儀由我們專業(yè)的服務(wù)和技術(shù)支持人員來(lái)支持。
關(guān)鍵特性
? 擁有 HF、HCI 和 NH? 中的單一氣體或多氣體配置
? 還能報(bào)告準(zhǔn)確和精確的 H?O 測(cè)量結(jié)果
? 標(biāo)配 0 - 5 V 及模擬 4 - 20 mA 輸出，可選 Modbus TCP
? 優(yōu)化的數(shù)據(jù)處理，使得能以最優(yōu)的性能測(cè)量亞 ppb級(jí)濃度
? 主密碼保護(hù)可確保分析儀和數(shù)據(jù)安全
? 定制的標(biāo)定和性能認(rèn)證文件包
? 通過(guò)觸摸屏進(jìn)行氣體濃度和分析儀狀態(tài)的數(shù)字化顯示
? 優(yōu)化的零氣性能，確?？煽康卮_認(rèn)過(guò)程事件
? 在煉油、石化、精細(xì)化工與其他工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的痕量氣體高精度檢測(cè) (H2S, C2 H2, NH3)
? 氣體泄漏檢測(cè)
? 在半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)確保工人生命安全與產(chǎn)品質(zhì)量所進(jìn)行的實(shí)時(shí)痕量氣體檢測(cè)(NH3, HF, HCL)
案例應(yīng)用產(chǎn)品
